投资项目背景图案
某门头半导种植制造商家处在长角形省份,核心种植制造晶圆和基带芯片。在种植制造过程中 中,晶圆割孔和镜面抛光关键时期生成许多磨细液污废水 ,单日占有量上涨量约50吨。随着污废水 中内含高酸度漂浮物、金屬化合物及巧妙调用剂,随便占有量上涨会对条件产生难治被污染的,商家肯定需要修建专业化治理公共设施。
废液材质及来原
磨细液工业废水具体起来于晶圆制作加工中的化学上自动化拋光(CMP)工艺流程,具体环境破坏物其中包括:
悬浮按钮颗粒状物
:二空气氧化物硅、空气氧化物铝等精磨颗粒剂,粒度分布在0.1-1μm,盐浓度达到了2000mg/L。
金属材质铁离子
:铜、铁、锌等,根据打磨抛光垫变形及晶圆表层合金金属层,铜正离子有机废气浓度约50mg/L。
生物碳调用剂
:比如表皮渗透性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强酸碱值有机物
:pH值上下波动大,一般而言在2-11当中。
整理生产工艺流程图步骤
共性废渣性能特点,采用了“预办理+血生化+的深度办理”搭配组合加工制作工艺 :
调高池
:义均水的硬度水流量,“添加碱酸自动调节pH至中性粒细胞。
混泥土析出
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),剔除浮悬物和悬浊液,沉降后SS剔除率>90%。
促使硫化
:进行Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机酸修改剂,COD消除率达60%。
生物技术进行处理
:MBR膜生物学发应器进一大步光降解累计酚类化合物物,COD减少为100mg/L下例。
亚铁离子变换
:专属聚酯树脂吸附性铜阳离子,喷水铜含磷量<0.5mg/L。
砂滤+活性酶类炭活性炭过滤
:事关出液使水变,提升《将污水整体释放准则》(GB8978-1996)1级准则。
终结视觉效果
设备进行保持稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
回收率达40%,余量标准废气排放出,年减低电镀废水废气排放出1.7万吨。
处置利润约15元/吨,远大于互联网行业分別。