半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
建设项目后台
该商家为世界各国领跑的半导首测商家,应用于珠四角各地,主要是对其进行一个集成块的小学划片和封装类型测式。主要是因为当地政府绿色要标准,商家取决于颁布废气污水工作技术出公程。工程项目于2030年起动,202四年6月竣工动工,工作的规模为200吨/日,总投入资金约2000万多。
废渣基本成分及来自
该类效果片区生产废水兼具下述特质:
高密度氟化物,主要产于晶圆割孔后的难以清理环节,氟阴离子密度可高达150-200mg/L
有奈米级硅粉颗粒状,比表面积多在100-500nm间
有机酸负荷什么意思较高,COD在500-800mg/L
含带进样器血本属如铅、镉等
水的电导率高,经常在2000-3000μS/cm
外理制作工艺方法
为实现对象达标排放口对象,施工工艺流程的概念侧重顾虑废水处理工艺分为搜集和资源性收废:
焦化废水划分采集而来程序
:将含氟废气与另一废气合在一起获取
化学上的乳浊液除氟
:应用二级钙盐结晶自己法,配合默契高效率结晶自己池
高层氧化的解决
:臭氧的危害催化反应氧化反应分解难处里巧妙物
膜浓缩造成机系统
:选用DTRO碟管式反融于,浓缩液7的倍数为10倍
减压蒸馏结晶体
:MVR设备水蒸汽再收缩空调蒸发器器处置浓水
潮湿体统
:将成果盐潮湿后身为产业副货品外售
正确处理的效果
机系统运动数据资料表现:
氟化物取除率>99.9%,出液氟铝离子<1mg/L
COD总清除率>98%,冒水COD<20mg/L
中国水资源性再利用率>95%,仅会产生一少部分晶体盐
每一年的可回笼高品位保证回收利用水约七万吨
成果盐色度以达到工业园级标准规定,实行的污泥处置利用率
的项目不只完成了废液零摆放,还进行能源再利用创立了约80来万/年的增加投资收益。