半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
品牌后台
该半导体设备品牌设在长三角形地区划分,首要生产制造制造8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日减排废水流量约2000吨。由生产制造制造工艺技术繁琐,废池中含带许多难化学降解有机酸物和巨资属化合物,传统化治理 工艺无发具备空前严格要求的减排条件。
废水处理方法物质及源
污水通常主要来出自五个原则:晶圆打孔污水蕴含丰富硅粉和打孔液残存;电化学机器磨光污水蕴含橡胶胶体部分硅和考虑顆粒;刻蚀洁净污水蕴含氟化物、铜铁离子等高价属;光刻技艺污水则蕴含光阻剂等生物碳弄脏物。水体质量特质是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓度值高(200-400mg/L)、浮窗物多且蕴含进样器高价属。
操作加工制作工艺 步奏
进行"有机化学预操作+生化模式操作+进一步操作"的搭配工艺设计:
调准池稳定饮用水质用水量
混疑乳浊液清除浮窗物和固体材质
化学物质放置法特别除理氟化物,添加钙盐产生氟化钙放置
蛋白质水解酸性反应池增加污废水 可生物化性
了解腐蚀池挥发充分弄脏物
化学活化炭吸咐塔开始强度治疗
膜分割软件系统切实保障出液水质标准保持稳定
根据含铜生活污水简单装置阴离子更换软件,收回有交换价值的复合铜。
然后功能
该项目起建后作业相对稳定,留水COD<50mg/L,氟化物有机废气酸度<5mg/L,铜阴阳离子有机废气酸度<0.3mg/L,一项招生指标均远低于部委《电子厂化工业水水工业废气排卸标准规范标准规范标准》(GB 39731-2020)。每季度可减轻COD排卸标准规范标准约300吨,氟化物排卸标准规范标准约50吨,利用铜轻金属约2吨,满足了大环境前景与经济实惠前景的合作共赢。