该厂为84英寸晶圆制造线配置的超净水设备，没天存在含硅废液150吨。废液中虽无血本属，但硅含碳量高易结渣，且电阻器率需超过18MΩ·cm功能造纸废水治疗。同一治疗工艺流程时未满意新实施的《网络实业水空气污染排卸量规则》（GB39731-2020）特备排卸量限制值。 废渣化学物质基本特征 重要环境污渍 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（粒度0.1-1μm） 特殊化的标准 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水质监测功能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物形态特征繁多 操作艺的流程 创新技术利用"梯级膜分离出来+电去化合物"组合起来施工工艺： 微滤预治理 ：1μm瓷砖膜屏蔽广告大颗粒状硅，通量维系80LMH 亚铁离子置换硅橡胶 ：D201大孔光敏树脂选定性气体吸附硅酸分子式 二次元RO体系 ：首个段利用率60%，2段用到高脱硼膜部件 EDI电去阴离子 ：电流量密度单位2A/m²，快速洗去残渣正离子 紫外光杀菌消毒 ：254nm太阳中的紫外线线含水量40mJ/cm² 工艺优点 开发设计使用阻硅剂（有机会胺类挽回物），延迟膜空气污染定期3倍 EDI板块创新性流道的设计，硅弄掉率大幅提升至99.8% 迅雷在线硅分析一下仪（检测的时间范围0.1-500μg/L）达到会员精准营销掌控 运动成果 经三是方检侧： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼量从8μg/L下降0.3μg/L 装置收废率从原40%升级至68% 膜更新期提高至5年，年运作生产成本降低了35%