某光电器件集成电路芯片生产厂在晶圆生产制造时候中,的使用硅烷展开硅概念生长发育,空气清洗塔造成高浓硫酸浓度含硅废污水。废污水有pH波动性大(2-11)、硅量高的特殊性,传统文化整理措施易出来硅垢不通现象。
化工废水含量及渠道
废渣大部分成份为:
溶化性硅酸盐
:SiO₂浓度值达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢空气氧化钠
:清洗塔酸性清洗液留下
颗料硅
:纳米级级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:成分硫氰酸盐携带
加工加工制作工艺 操作流程
特色化应用"多级与+膜吸附+化掉凝结"流程:
第一结合
:用CaO调准pH至4-5,转成硅酸钙积累,硅洗去率60%。
2级采和
:加Na₂CO₃将pH提升自己至9,进一个步骤沉定多余硅,串并联用镁剂除砷。
超滤膜系统性
:0.02μm瓷质膜过滤清洁nm级硅粒状,通量相对稳定在80LMH。
MVR化掉器
:溶缩高盐工业废水,心得出Na₂SO₄副的产品,水回收率超90%。
然后目的
总硅从1500mg/L降为5mg/L低于
砷浓度从0.8mg/L高于0.01mg/L
模式无积灰自动运行高达2年
每一年环保再生资源回收氢氧化钾钠晶胞约800吨