某半导制做公司因晶圆擦洗多种工序有含氨废水操作工艺，供水量200吨/天。废水操作工艺中除氯离子外还所含氟化物和微量分析高价属，操作一定的难度大。地区污染物规定让氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理工艺组成成分及主要来源 晶圆擦洗废液（最主要的从何而来）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺程序电镀废水：含微量分析铜、镍等巨资属，pH值波动性大 CMP研磨设备废水处理：含硅粒状及高锰酸盐指数 除理流程图流程图 通过"化工沉淀物中+膜区分+折点氯化"组和工序： 预治理 ：加药CaCl2除氟，设定pH在7.5-8. 反渗透装置平台 ：出掉0.01μm上面的粒状物 反渗透膜工作会更浓缩提炼 ：将氧化还原电位精浓至1000mg/L上面 折点氯化 ：准确管控氯加药量，将氧化还原电位还原成为惰性气体 阳离子互转 ：的保障巨资属未达标 终究郊果 化学需氧量相对稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属含水量高于加测限 水回收利用率达75% 生活污水造成量降低40%